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半導體she備軟件研發戰略合作huo伴 上海明yi科技有xian公si位于上海張江高科技園qu錦科創新產ye園,公si核心研發ren員來自于中微半導體she備、mei國yingyong材liao、理想能源she備、中晟光電she備等國內外領先de高端裝備公si,擁有近20年半導體she備軟件研發經yan。 公si已經為ke戶成功開發出量產半導體she備控zhi軟件,yingyong于包括LPCVD,PECVD, MOCVD, PVD,Etch(干法刻蝕,shi法刻蝕),清xi機,Strip,EFEM, Sorter等半導體she備。 ke戶she備已經jin入中芯國際,hua虹,長江存儲,中車,上hua,en刮埃CL,德州儀器等一線Fab廠 。
提供整體she備軟件zhuanyehua定zhi研發 fu合SEMI標zhunhua要求,快速導入工廠自donghua。提供從SECS/GEMqudong開發到she備控zhi軟件開發,到Fab廠EAP對jie,整體交鑰匙軟件解決方案。
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